● X、Y、Z轴0.5μm分辨率；
● 高精度非接触式光测高度量测模块；
● Z轴粗调/微调旋钮；
● 同轴表面光/底光测量；
● 内建偏光量测光学模块；
● 可量测透明材质纳米级高度差

HTM-3020M

工作行程X、Y、Z轴

200*100*150（mm）

360*260（mm）

玻璃台尺寸

404*228（mm）

0.5μm

X、Y坐标≤（3+L/75）μm （L为测量长度，单位mm）

彩色1/2"CCD摄像机；640*480像素；结合测量软件

目镜：10倍

测量模式：反射，透射，偏光

物镜放大倍率误差

总放大倍数

照明系统

同轴照明光源：卤素灯，亮度可调

倍率

10X

50X

26.1

8.8

高度量测模块（选配件）

倍率：10X，工作距离5mm，光学分辨力2μm

外形尺寸（mm）

仪器重量（kg）

110

110V—220V 50/60Hz <60W